气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪

气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪

根据压头上自动连续增加的垂直载荷，测定完quan划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要的最小载荷，即薄膜–基体界面附着失效的临界载荷LC。

执行标准：JB/T 8554-1997

测定LC的自动划痕试验机的结构原理如图1所示。该仪器由下列主要部件组成：A—压头连续加载电机；B—声发射探头，探测划痕产生的声发射强度并输入微机；C—洛氏硬度计标准压头；D—试样台；E—位移电机，用以匀速沿水平方向拖动试样台；F—切向摩擦力传感器，连续检测压头与薄膜之间的摩擦力并输入微机；G—试样台高度升降螺杆；H—加载压力传感器；I—光学显微镜(≥40×)；J—信号放大器；K—变换控制器；L—微型计算机（嵌入式工业电脑），用以实施测试自控和自动处理数据，并动态显示及存贮数据与图形；M—试样；N—CRT显示器；O—绘图打印机，输出试验结果；P—压头加载机构；Q—主支架。

技术参数

控制系统：PLC+Windows系统

操作界面：彩色触摸屏15寸，嵌入式工业电脑

样品尺寸：长方体：长40～50mm，宽30～45mm，高6～20mm；或圆柱体φ(40～45)mm×(6～20)mm；

样品要求：试样在温度(20±5)℃和相对湿度(50±10)%RH的条件下至少放置8h，然后按规定步骤测试只需很少的测试次数即可评价划痕特性；

压头规格：按GB/T 2848规定的条件选择金刚石压头(顶角120°，顶端半径R在200μm±5μm范围内)，在不小于40倍的显微镜下检测压头，确认其顶端是光滑洁净的球面，方可使用。

划痕速度：(10±1)mm/min可在触摸屏任意设置；

加载速率：对硬质薄膜为(20～40)N/min；对非硬质薄膜为(5～10)N/min；极限压力100N;

精度：0.03N；

电机：伺服电机86型+驱动器;

运动模式：丝杆+导轨，精度0.001mm；

光学显微镜：50倍以上镜片配置；

曲线图：加载压力，恒定压力，摩擦力，垂直载荷关系图，XY关系图；

测试高度范围：0-100mm；

测试模式：往复式运动，可单线运动，工业电脑触摸屏上设置；

运动范围：Y距离0-900mm，Y距离0-540mm;

用电：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸约：1000mm*600*640mm；

气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪