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气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪

发布时间: 2024-08-06  点击次数: 115次

气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪

根据压头上自动连续增加的垂直载荷,测定划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要的最小载荷, 即薄膜–基体界面附着失效的临界载荷 L C 。

执行标准:JB/T 8554-1997

测定 L C 的自动划痕试验机的结构原理如图1所示。 该仪器由下列主要部件组成: A—压头连续加载电机; B—声发射探头, 探测划痕产生的声发射强度并输入微机; C—洛氏硬度计标准压头; D—试样台; E—位移电机, 用以匀速沿水平方向拖动试样台; F—切向摩擦力传感器, 连续检测压头与薄膜之间的摩擦力并输入微机; G—试样台高度升降螺杆; H—加载压力传感器; I—光学显微镜(≥40×); J—信号放大器; K—变换控制器; L—微型计算机(嵌入式工业电脑), 用以实施测试自控和自动处理数据, 并动态显示及存贮数据与图形; M—试样; N—CRT 显示器; O—绘图打印机, 输出试验结果; P—压头加载机构; Q—主支架。

技术参数

控制系统:PLC+Windows系统

操作界面:彩色触摸屏15寸,嵌入式工业电脑

样品尺寸:长方体: 长 40~50mm, 宽 30~45mm, 高 6~20mm; 或圆柱体 φ (40~45)mm×(6~20)mm;

样品要求:试样在温度(20± 5)℃和相对湿度(50±10)%RH的条件下至少放置 8 h, 然后按规定步骤测试只需很少的测试次数即可评价划痕特性;

压头规格:按 GB/T 2848 规定的条件选择金刚石压头(顶角 120°, 顶端半径 R 在 200 μ m± 5 μ m范围内), 在不小于 40 倍的显微镜下检测压头, 确认其顶端是光滑洁净的球面, 方可使用。

划痕速度: (10± 1)mm/min可在触摸屏任意设置;

加载速率: 对硬质薄膜为(20~40)N/min;对非硬质薄膜为(5~10)N/min;极限压力100N;

精度: 0.03 N;

电机:伺服电机86型+驱动器;

运动模式:丝杆+导轨,精度0.001mm;

光学显微镜:50倍以上镜片配置;

曲线图:加载压力,恒定压力,摩擦力,垂直载荷关系图,XY关系图;

测试高度范围:0-100mm;

测试模式:往复式运动,可单线运动,工业电脑触摸屏上设置;

运动范围:Y距离0-900mm,Y距离0-540mm;

用电:220V,120W,20A,50hz;

外形尺寸约:1000mm*600*640mm;


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